X射線熒光光譜儀各種元素的核外電子軌道位能互不相同，因此，受激發(fā)后發(fā)出的X射線光子能量互不相同，即每種元素發(fā)射該元素原子所*能量的X射線，代表了該元素的特征，因此稱作該元素的特征X射線。每種元素的特征X射線具有其特定的能量，檢測到此種能量的X射線，即可以確定物質(zhì)樣品中有該元素存在。

　　X射線熒光光譜儀的維護保養(yǎng)：

　　1、昂貴的部分是高壓X射線光管，它是儀器的要點部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴格的要求，其最佳冷卻水溫為22℃～24℃，一般不能超過30℃，超過35℃則使用壽命會大大降低。內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須確保該冷卻水的電導(dǎo)率＜2μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致x射線光管損壞。

　　2、分光晶體是具有把X射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。

　　3、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質(zhì)變壞。

　　4、真空系統(tǒng)是重要組成部分。對于真空泵，主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時如果有白色或黑色，就說明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。

　　X射線熒光光譜儀被測試樣進入光譜儀后，受到來自X光管發(fā)出的X射線光束激發(fā)，產(chǎn)生X熒光，X射線熒光是指用X射線管或其它合適的輻射源照射物質(zhì)時，使組成物質(zhì)的原子產(chǎn)生具有特征性的一種次級X射線，X光管發(fā)射的光譜是有靶材元素（Rh銠）的特征譜和連續(xù)譜（或稱白色輻射）所組成，來自樣品的輻射是由X光管光譜和樣品中各元素的特征譜所組成的混合光，這種混合光被引入測角儀所組成的色散系統(tǒng)分光，分光后所得的譜線和被測樣品中存在的元素有關(guān)。